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样品要求 |
1.尺寸及表面要求：样品尺寸越小越好，最优推荐尺寸为：长宽高约5*3*0.5 mm，样品表面要光滑平整，样品干净、无污渍和线切割划痕；
2.粉末或磁性样品应备注清楚成份粒径等，制样时充分粘牢后，用气吹吹走未粘牢的颗粒；
3.样品预处理：自行准备样品载台，样品需提前用导电胶或导电银浆等固定在SEM样品台上面，导电性差的样品提前进行喷金等处理；如需定点制样，应提前标记区域；若现场需对特定成分区域EDS辅助定位制样，应提前告知，并增加预约时长；
4.TEM样品制样耗材：需提前准备FIB专用的Lift-out半铜网，钉型SEM样品台（尺寸与样品尺寸相当）并固定好样品，样品存储盒如高弹膜盒。
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